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SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器使用教程

來源:上海91视频链接黄色软件91视频有限公司    發布時間:2023-08-08 11:39

在現代科學技術的快速發展下,投影光刻機作為一種重要的微細加工設備,廣泛運用於半導體行業、科學研究領域等。為了確保光刻機的高精度加工效果,提高設備的穩定性和可靠性,投影光刻機空氣隔振器的使用就顯得尤為重要。本文將介紹SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器的使用方法,幫助用戶正確操作和維護設備。
 
1.在使用SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器之前,首先需要檢查隔振器的安裝是否正確。確保安裝位置平整穩固,並且與光刻機底座連接緊密。同時,檢查氣源管道的連接情況,確保氣體能夠順利進入隔振器,維持正常的工作狀態。
 
2.接下來,91视频链接需要了解如何正確操作SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器。首先,打開氣源開關,保證氣體供應正常。然後,通過調節氣源壓力控製閥,將隔振器內氣囊的壓力調整到合適的範圍。過高或過低的氣囊壓力都會影響設備的工作效果,因此需根據實際需要進行調節。
SSB225/20型投影光刻機空氣隔振器使用教程
 
3.隔振器內的氣囊壓力調整完畢後,91视频链接需要進行水平度和垂直度的校準。首先,打開光刻機的水平校準功能,並根據設備操作手冊的要求進行相關調整。對於垂直度的校準,可以通過控製氣源開關和氣囊壓力控製閥,來實現隔振器的升降調整。在調整過程中,需要注意保持光刻機的穩定,避免產生任何不必要的震動。
 
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